移動(dòng)機器人（AGV）
移動(dòng)機器人（ AGV）是工業(yè)機器人的一種類(lèi)型，它由計算機控制，具有移動(dòng)、自動(dòng)導航、多傳感器控制、網(wǎng)絡(luò )交互等功能，它可廣泛應用于機械、電子、紡織、卷煙、醫療、食品、造紙等行業(yè)的柔性搬運、傳輸等功能，也用于 自動(dòng)化立體倉庫、柔性加工系統、柔性裝配系統（以AGV作為活動(dòng)裝配平臺）；同時(shí)可在車(chē)站、機場(chǎng)、郵局的物品分撿中作為運輸工具。 國際物流技術(shù)發(fā)展的新趨勢之一，而移動(dòng)機器人是其中的核心技術(shù)和設備，是用 現代物流技術(shù)配合、支撐、改造、提升傳統生產(chǎn)線(xiàn)，實(shí)現點(diǎn)對點(diǎn)自動(dòng)存取的高架箱儲、作業(yè)和搬運相結合，實(shí)現精細化、柔性化、信息化，縮短物流流程，降低物料損耗，減少占地面積，降低建設投資等的高新技術(shù)和裝備。 點(diǎn)焊機器人
焊接機器人具有性能穩定、工作空間大、運動(dòng)速度快和負荷能力強等特點(diǎn)，焊接質(zhì)量明顯優(yōu)于人工焊接，大大提高了點(diǎn)焊作業(yè)的生產(chǎn)率。
點(diǎn)焊機器人主要用于汽車(chē)整車(chē)的焊接工作，生產(chǎn)過(guò)程由各大汽車(chē)主機廠(chǎng)負責完成。國際工業(yè)機器人企業(yè)憑借與各大汽車(chē)企業(yè)的長(cháng)期合作關(guān)系，向各大型汽車(chē)生產(chǎn)企業(yè)提供各類(lèi)點(diǎn)焊機器人單元產(chǎn)品并以焊接機器人與整車(chē)生產(chǎn)線(xiàn)配套形式進(jìn)入中國，在該領(lǐng)域占據市場(chǎng)主導地位。
隨著(zhù)汽車(chē)工業(yè)的發(fā)展，焊接生產(chǎn)線(xiàn)要求焊鉗一體化，重量越來(lái)越大，165公斤點(diǎn)焊機器人是當前汽車(chē)焊接中最常用的一種機器人。2008年9月，機器人研究所研制完成國內首臺165公斤級點(diǎn)焊機器人，并成功應用于奇瑞汽車(chē)焊接車(chē)間。2009年9月，經(jīng)過(guò)優(yōu)化和性能提升的第二臺機器人完成并順利通過(guò)驗收，該機器人整體技術(shù)指標已經(jīng)達到國外同類(lèi)機器人水平。
弧焊機器人
弧焊機器人主要應用于各類(lèi)汽車(chē)零部件的焊接生產(chǎn)。在該領(lǐng)域，國際大型工業(yè)機器人生產(chǎn)企業(yè)主要以向成套裝備供應商提供單元產(chǎn)品為主。
關(guān)鍵技術(shù)包括：
(1)弧焊機器人 系統優(yōu)化集成技術(shù)：弧焊機器人采用交流伺服驅動(dòng)技術(shù)以及高精度、高剛性的RV減速機和諧波減速器，具有良好的低速穩定性和高速動(dòng)態(tài)響應，并可實(shí)現免維護功能。 (3)精確焊縫軌跡跟蹤技術(shù)：結合 激光傳感器和視覺(jué)傳感器離線(xiàn)工作方式的優(yōu)點(diǎn)，采用激光傳感器實(shí)現焊接過(guò)程中的焊縫跟蹤，提升焊接機器人對復雜工件進(jìn)行焊接的柔性和適應性，結合視覺(jué)傳感器離線(xiàn)觀(guān)察獲得焊縫跟蹤的殘余偏差，基于偏差統計獲得補償數據并進(jìn)行機器人運動(dòng)軌跡的修正，在各種工況下都能獲得最佳的焊接質(zhì)量。 激光加工機器人
激光加工機器人是將機器人技術(shù)應用于 激光加工中，通過(guò)高精度工業(yè)機器人實(shí)現更加柔性的激光加工作業(yè)。本系統通過(guò)示教盒進(jìn)行在線(xiàn)操作，也可通過(guò)離線(xiàn)方式進(jìn)行編程。該系統通過(guò)對加工工件的自動(dòng)檢測，產(chǎn)生加工件的模型，繼而生成加工 曲線(xiàn)，也可以利用CAD數據直接加工�？捎糜诠ぜ募す獗砻嫣幚�、打孔、 焊接和 模具修復等。 關(guān)鍵技術(shù)包括：
(1)激光加工機器人 結構優(yōu)化設計技術(shù)：采用大范圍框架式本體結構，在增大作業(yè)范圍的同時(shí)，保證機器人精度； (2) 機器人系統的誤差補償技術(shù)：針對一體化加工機器人工作空間大，精度高等要求，并結合其結構特點(diǎn)，采取非模型方法與基于模型方法相結合的混合機器人補償方法，完成了幾何參數誤差和非幾何參數誤差的補償。 (3)高精度機器人檢測技術(shù)：將三坐標測量技術(shù)和機器人技術(shù)相結合，實(shí)現了機器人高精度在線(xiàn)測量。
(4)激光加工機器人專(zhuān)用語(yǔ)言實(shí)現技術(shù)：根據激光加工及機器人作業(yè)特點(diǎn)，完成激光加工機器人專(zhuān)用語(yǔ)言。
(5)網(wǎng)絡(luò )通訊和離線(xiàn)編程技術(shù)：具有串口、CAN等網(wǎng)絡(luò )通訊功能，實(shí)現對機器人生產(chǎn)線(xiàn)的監控和管理；并實(shí)現上位機對機器人的離線(xiàn)編程控制。
真空機器人
真空機器人是一種在真空環(huán)境下工作的機器人，主要應用于半導體工業(yè)中，實(shí)現晶圓在真空腔室內的傳輸。真空機械手難進(jìn)口、受限制、用量大、通用性強，其成為制約了半導體裝備整機的研發(fā)進(jìn)度和整機產(chǎn)品競爭力的 關(guān)鍵部件。而且國外對中國買(mǎi)家嚴加審查，歸屬于禁運產(chǎn)品目錄，真空機械手已成為嚴重制約我國半導體設備整機裝備制造的“卡脖子”問(wèn)題。直驅型真空機器人技術(shù)屬于原始創(chuàng )新技術(shù)。 關(guān)鍵技術(shù)包括：
(1)真空機器人新構型設計技術(shù)：通過(guò)結構分析和優(yōu)化設計，避開(kāi)國際專(zhuān)利，設計新構型滿(mǎn)足真空機器人對剛度和伸縮比的要求；
(2)大間隙真空 直驅電機技術(shù)：涉及大間隙真空直接驅動(dòng)電機和高潔凈直驅電機開(kāi)展電機理論分析、結構設計、制作工藝、電機材料表面處理、低速大轉矩控制、小型多軸驅動(dòng)器等方面。 (3)真空環(huán)境下的多軸精密軸系的設計。采用軸在軸中的設計方法，減小軸之間的不同心以及慣量不對稱(chēng)的問(wèn)題。
(4)動(dòng)態(tài)軌跡修正技術(shù)：通過(guò)傳感器信息和機器人運動(dòng)信息的融合，檢測出晶圓與手指之間基準位置之間的偏移，通過(guò)動(dòng)態(tài)修正運動(dòng)軌跡，保證機器人準確地將晶圓從真空腔室中的一個(gè)工位傳送到另一個(gè)工位。
(5)符合SEMI標準的真空機器人語(yǔ)言：根據真空機器人搬運要求、機器人作業(yè)特點(diǎn)及 SEMI標準，完成真空機器人專(zhuān)用語(yǔ)言。 (6)可靠性系統工程技術(shù)：在 IC制造中，設備故障會(huì )帶來(lái)巨大的損失。根據半導體設備對MCBF的高要求，對各個(gè)部件的可靠性進(jìn)行測試、評價(jià)和控制，提高機械手各個(gè)部件的可靠性，從而保證機械手滿(mǎn)足IC制造的高要求。 潔凈機器人
潔凈機器人是一種在潔凈環(huán)境中使用的工業(yè)機器人。隨著(zhù)生產(chǎn)技術(shù)水平
不斷提高，其對生產(chǎn)環(huán)境的要求也日益苛刻，很多現代工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)都要求在潔凈環(huán)境進(jìn)行，潔凈機器人是潔凈環(huán)境下生產(chǎn)需要的關(guān)鍵設備。
關(guān)鍵技術(shù)包括：
(1)潔凈潤滑技術(shù)：通過(guò)采用負壓抑塵結構和非揮發(fā)性 潤滑脂，實(shí)現對環(huán)境無(wú)顆粒污染，滿(mǎn)足潔凈要求。 (2)高速平穩控制技術(shù)：通過(guò)軌跡優(yōu)化和提高關(guān)節伺服性能，實(shí)現潔凈搬運的平穩性。
(3)控制器的小型化技術(shù)：根據潔凈室建造和運營(yíng)成本高，通過(guò)控制器小型化技術(shù)減小潔凈機器人的占用空間。
(4)晶圓檢測技術(shù)：通過(guò)光學(xué)傳感器，能夠通過(guò)機器人的掃描，獲得卡匣中晶圓有無(wú)缺片、傾斜等信息。 |
